Profilm 3D

Perfilómetros Ópticos

Medición de Película Delgada

El Profilm3D utiliza la más moderna interferometría de luz blanca (WLI) combinado con interferometría de desplazamiento de fase de alta precisión (PSI). Esto proporciona acceso a la topografía de la superficie desde un subnanómetro hasta una escala milimétrica.

Capacidad de análisis:
Filtro de corte de rugosidad y ondulación, Filtrado espectral y FFT, Calculo de volumen, Múltiples técnicas de altura de paso: línea, rectángulo e histograma.

Aplicaciones

Película de proceso

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